泄漏检测的方法与应用（7）——钢桶的氦质谱检漏系统

主讲/李洲洋（合肥卓扬真空技术有限公司）

钢桶氦质谱检测结构示意图

钢桶检测效果图

钢桶检测操作界面

1、特点

（1）干式检漏

（2）传送机构，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性

（3）检测结果准确，高效

（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动定位

（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变

（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕

（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足

（8）检测结束后，工件自动移出待检工位

2、钢桶检测的关键技术参数

（1）工件外形尺寸

（2）真空箱内腔尺寸

（3）检测工位数

（4）检测节拍

（5）检测精度

（6）数据存储

3、钢桶真空检测系统部分单元介绍

（1）真空箱部分由真空箱、真空泵组、真空测量装置、电磁阀、开箱装置及不锈钢管道等组成。

（2）真空箱为不锈钢材质，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽速。

（3）主抽真空系统采用爱德华真空机组，性能稳定可靠。

（4）真空测量装置采用莱宝公司真空测量计，电磁阀采用德国或日本品牌，测量和控制精确，稳定可靠。

（5）密封措施可靠，确保静态密封及动态密封的可靠性和可维护性。

4、钢桶真空检测系统

（1）传送装置能将工件准确运送至指定位置；

（2）提升机构运行安全、快速、平稳；

（3）真空箱底盘及顶部限位机构确保钢桶在检漏过程中不变形且无压痕；

（4）工件进入真空箱后，底盘与真空箱自动密封，防坠落装置自动打开，检漏程序自动进行；

（5）当真空箱出现提示大漏时，设备自动启动清氦功能；

（6）检测完成后，已检产品自动取出，同时待检产品自动送至检测位；

（7）氦检合格产品自动流向合格线，不合格产品自动分拣并流向指定位置；

（8）系统具有校准功能，可对设备自动校验。

5、操作方法及功能说明

（1）由于钢桶不能承受较高压力，因此直接采取向桶内充入一定量氦气的方法；

（2）充入氦气的钢桶随流水线进入指定位置，再由传送机构送至待检工位；

（3）检测结果分辨明确，合格件/不合格件准确流向相应位置；

（4）工艺要求设定漏率、检测时间、检测压力、报警值等不影响设备运行的操作参数（在人机界面上通过密码设定）；

（5）具有可靠的连锁、保护功能、保护装置动作时装置全部停止并报警提示；

（6）具有故障统计及提示功能；

（7）具有自动清氦功能，检漏精度和重复性可靠；

（8）设备具有密码保护功能，防止无关人员修改参数或手动操作。

系统操作界面1

系统操作界面2

6、真空箱部分

（1）由真空箱、泵组、真空测量装置、电磁阀、管路及各种传动机构等组成。

（2）真空箱为不锈钢的材质，内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽速。

（3）设安全围栏，确保操作者安全。

（4）抽空系统/真空测量装置/电磁阀均采用国际知名品牌，性能稳定可靠。

7、检漏仪部分

检漏仪部分主要由氦质谱检漏仪、控制阀门及校准部分等组成。

8、电气控制部分

（1）控制系统将检漏仪、真空箱系统、流水线及传动机构等集成在一起，系统运行稳定可靠。

（2）人机界面上显示各种工作状况、通过权限设定各种信息参数。

（3）实时监控各种传感器的工作状态。

（4）实时视频监控设备状态，确保人员及工件的安全。

（5）系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。

9、清氦系统介绍

设备具有清氦功能，当不合格品漏率值过高时，下一次检漏前，系统自动清除氦本底，确保设备不会出现氦本底过高而产生的误报。

10、系统安全性说明

具有以下安全配置，确保系统工作及操作人员的安全：

（1）真空泵组过载保护、过电流保护；

（2）氮气氦气/过压、欠压自动保护；

（3）设备安全围栏保护；

（4）真空气动阀失灵自动保护报警；

（5）各运动部件报警提示；

（6）箱门到位信号防护、确保无撞击；

（7）有操作面急停开关，维修点急停开关，有相应的安全操作指示。

11、设备外观及其他说明

（1）系统内各部件布局合理、各易损件易于拆卸、更换、方便维修；

（2）控制线路两端具有明确标号；接线排座有对应接线端子文字说明；

（3）管道走向规范、合理并有清晰的文字标识及流向标识，不杂乱交叉；

（4）各气源、电源配置总开关，且安装在易操作的位置；

（5）设备电机转向标识清楚，在裸露的传动部位加上防护罩等保护装置。

12、系统配置说明

核心配置均采用知名品牌，性能稳定可靠。

（1）抽空机组：爱德华/莱宝；

（2）传感器： 莱宝 /美国麦斯；

（3）检漏仪：一线品牌。