氦质谱检漏基本知识介绍

文/合肥卓扬

一、什么是真空检漏

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

二、什么是真空箱氦检漏

真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。

三、真空箱氦检漏基本功能

操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。

工艺流程

A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；

B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；

B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；

C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；

C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

四、真空箱氦检漏系统特征及优点

1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全

2、真空箱内氦气本底抑零，保障了检漏的准确性、高精度。

3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。

4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。

5、专利技术的密封接头，减少误判。

6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，保障了系统的操作安全及可靠运行。

7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。

五、漏率单位换算表

六、合肥卓扬真空技术有限公司介绍

合肥卓扬真空技术有限公司位于皖江城市带核心城市-中国合肥，是一家专门从事真空箱氦检漏回收系统、氦检漏非标自动化设备、氦质谱检漏仪和气密性检漏仪的研发设计、生产、销售、安装为一体的年轻的新兴的现代化企业。

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